Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications - Fujiwara, Hiroyuki (National Institute of Advanced Industrial Science & Technology, Tsukuba, Japan) - Bücher - John Wiley & Sons Inc - 9780470016084 - 26. Januar 2007
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Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications

Fujiwara, Hiroyuki (National Institute of Advanced Industrial Science & Technology, Tsukuba, Japan)

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Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE).

388 pages, Illustrations

Medien Bücher     Gebundenes Buch   (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband)
Erscheinungsdatum 26. Januar 2007
ISBN13 9780470016084
Verlag John Wiley & Sons Inc
Seitenanzahl 392
Maße 157 × 235 × 26 mm   ·   762 g
Sprache Englisch  

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