Handbook of Chemical Vapor Deposition: Principles, Technology and Applications - Pierson, Hugh O. (Sandia National Laboratories (retired)) - Bücher - William Andrew Publishing - 9780815514329 - 31. Dezember 1999
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Handbook of Chemical Vapor Deposition: Principles, Technology and Applications 2. Ausgabe

Pierson, Hugh O. (Sandia National Laboratories (retired))

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Offers an understanding of the advances in the Chemical Vapor Deposition (CVD) process. This book features data on both Plasma CVD and metallo-organic CVD processes. It also explains growing importance of CVD in production of semiconductor and related applications.


506 pages

Medien Bücher     Gebundenes Buch   (Buch mit hartem Rücken und steifem Einband)
Erscheinungsdatum 31. Dezember 1999
ISBN13 9780815514329
Verlag William Andrew Publishing
Seitenanzahl 506
Maße 164 × 237 × 40 mm   ·   843 g
Sprache Englisch  

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