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Plasma Charging Damage Softcover reprint of the original 1st ed. 2001 edition
Kin P. Cheung
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Plasma Charging Damage Softcover reprint of the original 1st ed. 2001 edition
Kin P. Cheung
In the 50 years since the invention of transistor, silicon integrated circuit (IC) technology has made astonishing advances. In state of the art silicon Ie manufacturing process, plasma is used in more than 20 different critical steps.
364 pages, biography
| Medien | Bücher Taschenbuch (Buch mit Softcover und geklebtem Rücken) |
| Erscheinungsdatum | 30. August 2012 |
| ISBN13 | 9781447110620 |
| Verlag | Springer London Ltd |
| Seitenanzahl | 346 |
| Maße | 157 × 234 × 19 mm · 522 g |
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